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新菱冷熱工業/電解水エアワッシャーシステム開発/高レベルなクリーンルーム実現  [2020年1月10日3面]

 新菱冷熱工業は、半導体や液晶パネルの工場など極めて高いレベルの清浄環境が求められる製造施設向けに、空気に含まれる酸性ガスなどが除去できる「電解水エアワッシャーシステム」を開発した。エアワッシャーの吸収液に電解水を用いる点が特徴。自社開発したプリーツ状のフィルターで空気と電解水の接触効率を高めている。クリーンルーム向け空調機に搭載して利用する。国内外の製造施設へ展開し、システムと関連施設を含めて3年間で100億円の売り上げを目指す。
 外から取り込んだ空気に含まれる酸性ガスの濃度変化を検知し、最適な電解水量を供給する制御システムも開発し実装した。硫酸イオンで99%以上の高い除去性能を持つほか、アンモニウムイオンなどの除去も可能。産業廃棄物も発生しない環境配慮型システムとなっている。
 従来型の外気処理空調機(外調機)には、アンモニアや酸、有機物などの空気中の低濃度ガスを除去するケミカルフィルターと、湿度を下げるための再熱コイルが必要だった。同システムでは不要となる。従来の外調機と比較して、全体の消費エネルギー量を約24%、二酸化炭素(CO2)排出量を15%、ランニングコストは3割削減できるという。
 ケミカルフィルターは1~数年で交換する必要があり、約1~2トンの産業廃棄物が発生してしまう。交換時に外調機を停止するため、クリーンルームの運用・保守の煩雑化につながる。ケミカルフィルターにエステル系の有機物や窒素酸化物(NOx)が吸着すると、酢酸や亜硝酸、硝酸が発生し、クリーンルームを汚染してしまう懸念もあった。こうした課題を踏まえ、新たなシステムを開発した。

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