ダイダン/フィルター再生事業拡大、技研内に超臨界CO2プラント完成

2023年7月27日 企業・経営 [3面]

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 ダイダンは半導体市場の拡大を見据え、製造装置に組み込まれている「エアフィルター」の再生事業を強化する。埼玉県三芳町の技術研究所内にプラントを増設。既存プラントを合わせて洗浄槽3基を備え、半導体メーカ…

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